¡ã Àú¿Â ÇöóÁ Àüó¸® ½Ã¿¬ Àå¸é © TIN´º½º |
Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø(¿øÀå ¹®Ã¶È¯)Àº Áß¼Òº¥Ã³±â¾÷ Áö¿ø ÇÏ¿¡ ¡®Áö¿ªÁß¼Ò±â¾÷ °øµ¿¼ö¿ä±â¼ú°³¹ß»ç¾÷¡¯ Áß ¼¼ºÎ°úÁ¦ÀÎ ¡®Àú¿Â ÇöóÁ ±â¹Ý ģȯ°æ ¿°»ö°¡°ø±â¼ú º¸±Þ È®»ê¡¯ °úÁ¦ ÁÖ°ü±â°üÀ¸·Î Âü¿©ÇØ ¿¬¸» ±â¼ú °³¹ßÀÌ ¿Ï·áµÈ´Ù.
¡®ÇöóÁ(Plasma)¡¯´Â °íü, ¾×ü, ±âü¿¡ ÇØ´çÇÏÁö ¾Ê´Â ¡®Á¦4 ¹°Áú »óÅ¡¯·Î ºÒ¸°´Ù. Ãʰí¿Â¿¡¼ À½ÀüÇϸ¦ °¡Áø ÀüÀÚ¿Í ¾çÀüÇϸ¦ ¶í ÀÌ¿ÂÀ¸·Î ºÐ¸®µÈ ±âü »óÅ´Ù. ÀÏ»ó»ýȰ¿¡¼ Á¢ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Àΰø ÇöóÁ »óÅ·δ Çü±¤µî, ¼öÀºµî, ³×¿Â»çÀÎ, PDP µîÀÌ ÀÖ´Ù.
ÇöóÁ´Â ÀüÀڿµµ¿¡ µû¶ó ¡®°í¿Â ÇöóÁ¡¯¿Í ¡®Àú¿Â ÇöóÁ¡¯·Î ±¸ºÐÇÑ´Ù.
¼öõ~¼ö¸¸¡ÉÀÇ °í¿Â »óÅ¿¡¼´Â Àý´Ü, ¿ëÁ¢, ¿ë»ç, Ãʹ̸³ÀÚÁ¦Á¶, ¼Ò°á, ÇÙÀ¶ÇÕ ¹ßÀü µî¿¡ Ȱ¿ëÇϰí, ¼ö½Ê~¼ö¹é¡É ÀÌÇÏ Àú¿Â »óÅ¿¡¼´Â Ȱ¼ºÈµÈ ¶óµðÄ®, ÀüÀÚ µî¿¡ ÀÇÇÑ ¿¡Äª, ÈÇÐÀû Ç¥¸é°³Áú, ±â»óÇÕ¼º(CVD), ÁßÇÕ, ½ºÆÛÅ͸µ(Sputtering) °øÁ¤¿¡ ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. Àú¿Â ´ë±â¾Ð ÇöóÁ´Â ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼¼Á¤, ÀÇ·á ±â¼ú¿¡ Ȱ¹ßÈ÷ Àû¿ëµÇ¾îÁö°í ÀÖ´Ù
¡®Àú¿Â ÇöóÁ ±â¹Ý ģȯ°æ ¿°»ö°¡°ø ±â°ø ±â¼ú¡¯Àº ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¿°»ö°¡°ø Àü ´Ü°èÀÎ Àü󸮿¡ Àû¿ëÇØ ģȯ°æÀûÀÌ¸é¼ È¾à ¾àǰ, ¹°, À¯Çع°Áú ¹èÃâ, 󸮺ñ¿ë Àý°¨ µîÀÇ ¸ñÀûÀ¸·Î °³¹ßµÆ´Ù. ƯÈ÷ ¼Ò¼ö¼º(áÂâ©àõ) ¿ø´Ü Ç¥¸é¿¡ Àú¿Â(30~40¡É)ÇöóÁ ó¸® ½Ã OH±â ¹× radical Ȱ¼ºÁ¾ÀÇÇØ ¼Ò¼ö¼º Ç¥¸é¼ºÁúÀÌ Ä£¼ö¼ºÀ¸·Î º¯ÈÇÏ¸é¼ Èí¼ö¼ºÀÌ Çâ»óµÈ´Ù. ´Ü ¼Ò¼ö¼º¿¡¼ Ä£¼ö¼ºÀ¸·Î º¯ÇÒ »Ó ¼¶À¯ÀÇ ¹°¼º¿¡´Â º¯È°¡ ¾ø´Ù.
À̿ܿ¡µµ ¡ãÈÇм¶À¯ÀÇ Èí½À·Â °È ¡ã¶óÀ̳×ÀÌÆÃ °øÁ¤ÀÇ Á¢Âø¼º °È ¡ã¿ï ¼¶À¯ ¹× Á¶Á÷ÀÇ ¼öÃà(Anti-Shrinkage) ¹æÁö ¡ãȨ ÅØ½ºÅ¸ÀÏ ¹× ÀÇ·ù °ß·Úµµ Çâ»ó ¡ãÄ«º» ¹× À¯¸®¼¶À¯ÀÇ Á¢Âø¼º °È µîÀÇ È¿°ú¸¦ ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
°³¹ß ´ã´çÀÚÀÎ Çѱ¹¼¶À¯¼ÒÀ翬±¸¿ø Àúź¼Ò°øÁ¤±â¼ú¿¬±¸ÆÀ ÀÌÁ¤È£ ÆÀÀå¿¡ µû¸£¸é CPB, DTP µîÀÇ Ä£È¯°æ IN-Line ¿°»ö »ý»ê °øÁ¤ ¹× ÅÙÅ͸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±â´É¼º Èİ¡°ø °øÁ¤ ¸ðµÎ¿¡ Àû¿ë °¡´ÉÇÏ´Ù. ¶ÇÇÑ Àú¿Â ´ë±â¾Ð ÇöóÁ ÀåÄ¡¸¦ ±âÁ¸ Àåºñ¿Í ¿¬µ¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã½ºÅÛ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇØ ±âÁ¸ °øÁ¤ µ¿¼±À» À¯ÁöÇÏ¸é¼ Àåºñ ºÎÇǸ¦ ÃÖ¼ÒÈ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌÁ¤È£ ÆÀÀåÀº ¡°DTP ¾÷üµéÀÌ Àüó¸®(Á¤·Ã) µÈ ¿ø´ÜÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ÇÁ¸°Æ®ÇÒ °æ¿ì ¿°·áÀÇ Ä§Åõ°¡ ºÒ¾ÈÁ¤ÇÏ¿© Ä÷¯ÀÇ ±ÕÀϼº ¹× ÷¿¹¼ºÀÌ ¶³¾îÁö´Â Çö»óÀÌ ºó¹øÈ÷ ¹ß»ýÇÏ¿© Àçó¸® ¹× °ÇÁ¶ µîÀÇ °øÁ¤À¸·Î »ý»ê½Ã°£ Áö¿¬°ú Ȱø ¾àǰ, ¿ë¼ö, ¿¡³ÊÁö »ç¿ë·® Áõ°¡¸¦ ÁÙÀÌ°í ±ÕÀÏÇÑ »ý»ê¼ºÀ» °®´Â DTP Àû¿ë °øÁ¤À» ¿¬±¸ Áß¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÇöÀç °æ±âµµ S±â¾÷°ú ±¹³» DTP°øÁ¤¿¡ ÇöóÁ Àû¿ëÀ» À§ÇÑ ±âÃÊ ¿¬±¸°³¹ßÀ» Çù¾÷ ÁßÀ̸ç, ź¼Ò¹èÃâÀ» ÁÙÀ̱â À§ÇÑ ÇÁ·Î¼¼½º °³¹ßÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ÁøÇàÇϰí ÀÖ´Ù. ±¹³» Á÷¹° »ý»ê±â¾÷ S»çÀÇ °æ¿ì °ß·Úµµ¿Í ±â´É¼º ¼º´É Çâ»ó ¸ñÀûÀ¸·Î 4´ëÀÇ ÇöóÁ Àåºñ¸¦ »ý»ê °øÁ¤¿¡ µµÀÔÇØ Á¦Ç°°³¹ß ¹× »ý»êÀ» Çϰí ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.
Ãâó : tinnews